【摘 要】
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随着单片微波集成电路(MMIC)集成度和复杂度的提高,芯片功能模块之间的距离越来越近,特征线宽越来越窄,对于分析芯片内部的信号路径和信号的完整性,能够提供芯片表面的高分辨微波场成像显得尤为重要。为了解决准确检测芯片内部结构完整无损的问题,这项工作采用了一种基于光纤的近场扫描探头的方法,其中包含氮空位(NV)色心的金刚石颗粒固定在光纤的尖端,通过搭建光路并接收金刚石NV色心的荧光信号,从而推理出被测芯片的磁场强度。该实验选取一个微波低噪声放大器芯片内部的区域进行扫描成像,得到了较好的成像结果,并准确分析出芯
【机 构】
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南京邮电大学通信与信息工程学院,宿迁学院机电工程学院
【基金项目】
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江苏省特聘教授项目(RK002STP15001),南京邮电大学校长特聘教授项目(NY214136),江苏省自然科学基金项目(SBK2020041231),宿迁市产业发展引导资金项目(K201912)。
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随着单片微波集成电路(MMIC)集成度和复杂度的提高,芯片功能模块之间的距离越来越近,特征线宽越来越窄,对于分析芯片内部的信号路径和信号的完整性,能够提供芯片表面的高分辨微波场成像显得尤为重要。为了解决准确检测芯片内部结构完整无损的问题,这项工作采用了一种基于光纤的近场扫描探头的方法,其中包含氮空位(NV)色心的金刚石颗粒固定在光纤的尖端,通过搭建光路并接收金刚石NV色心的荧光信号,从而推理出被测芯片的磁场强度。该实验选取一个微波低噪声放大器芯片内部的区域进行扫描成像,得到了较好的成像结果,并准确分析出芯
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