基于白光干涉仪的轴尖表面粗糙度检测技术研究

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针对轴尖微小球面表面粗糙度的检测难题,开发了基于Taylor CCI白光干涉仪的检测技术。以VLSI 18nm台阶高度标准片对仪器进行针对性的高度测量校准,并以专门制备的R_a12nm多刻线样板进行粗糙度测量精度验证,在此过程中同时对仪器的工作参数进行优化调整,包括采用二阶多项式算法去除表面形状对测量结果的影响等。实测数据和测量不确定度分析的结果证明达到了不确定度R_a2nm的精度水平,实现了轴尖表面粗糙度的准确测量。
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