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硅表面工艺是微型机械制造的重要工艺，而多晶硅是表面工艺中的主要结构层，它的机械 型机电系统的可靠性和使用寿命，因此对其破坏特性的研究是非常必要的。本文在离国外对体硅工艺和表面工艺形成的材料破坏特性研究情况的基础上，提出了利用旋转台对表面工艺形成的多晶硅微梁进行拉伸破坏实验的方法。
多晶硅微构件拉伸破坏特性的测量
【摘 要】
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硅表面工艺是微型机械制造的重要工艺，而多晶硅是表面工艺中的主要结构层，它的机械 型机电系统的可靠性和使用寿命，因此对其破坏特性的研究是非常必要的。本文在离国外对体硅工
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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测试技术学报
【发表日期】
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1998年3期
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