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基于计算机视觉的MEMS测试系统

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 14次 | 上传用户：along365

【摘 要】

：

根据MEMS测试的要求 ,设计并实现了一种基于计算机视觉的MEMS测试系统。该系统是一个典型的光、机、电、算集成的MEMS测试系统 ,已应用于MEMS微结构几何尺寸和动态特性等的测量。因采用了亚像元定位技术 ,系统具有较高的测量精度。应用表明该系统具有较好的灵活性和扩充性 ,测量速度快 ,测试简便 ,有较好的工程应用价值

【作 者】

：

冯亚林 栗大超 金翠云 郝一龙 张大成 靳世久 

【机 构】

：

北京大学微电子所,天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室

【出 处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2003年Z1期

【关键词】

：

计算机视觉 MEMS 测试系统 图像测量 MEMS Computer microvision MEMS test Image Measurement 

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根据MEMS测试的要求 ,设计并实现了一种基于计算机视觉的MEMS测试系统。该系统是一个典型的光、机、电、算集成的MEMS测试系统 ,已应用于MEMS微结构几何尺寸和动态特性等的测量。因采用了亚像元定位技术 ,系统具有较高的测量精度。应用表明该系统具有较好的灵活性和扩充性 ,测量速度快 ,测试简便 ,有较好的工程应用价值

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