【摘 要】
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采用脉冲电流方法制备电镀镍层,并利用扫描电镜、光学轮廓仪、硬度计等测试方法研究了电镀参数中的溶液温度和pH对电镀镍层的表面形貌、粗糙度、显微硬度和SiC/Ni刻蚀选择比的影响.结果表明:当镀液温度在45～60℃时,镀镍层表面形貌变化不大,但是随着镀液温度的升高和镀液pH的增大,粗糙度呈先减小后增大的趋势,显微硬度和SiC/Ni刻蚀选择比均呈先增大后减小的趋势.电镀液温度为55℃,pH在4.0～4.4时,可获得具有良好的质量、显微硬度且SiC/Ni刻蚀选择比的镍镀层.
【机 构】
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南京电子器件研究所化合物部,江苏南京210000
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采用脉冲电流方法制备电镀镍层,并利用扫描电镜、光学轮廓仪、硬度计等测试方法研究了电镀参数中的溶液温度和pH对电镀镍层的表面形貌、粗糙度、显微硬度和SiC/Ni刻蚀选择比的影响.结果表明:当镀液温度在45～60℃时,镀镍层表面形貌变化不大,但是随着镀液温度的升高和镀液pH的增大,粗糙度呈先减小后增大的趋势,显微硬度和SiC/Ni刻蚀选择比均呈先增大后减小的趋势.电镀液温度为55℃,pH在4.0～4.4时,可获得具有良好的质量、显微硬度且SiC/Ni刻蚀选择比的镍镀层.
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