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针对动态半实物仿真系统的需求，提出了一种新颖的基于微机电系统（ MEMS ）技术的红外场景生成器。研究了可变光衰减器（ VOA ）阵列组成红外场景生成器的工作原理和器件结构，提出了新型串联双向折叠梁结构和阵列布局方案，为实现大规模阵列的红外场景生成器奠定基础。
基于 MEMS VOA 阵列的红外场景生成器
【摘 要】
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针对动态半实物仿真系统的需求，提出了一种新颖的基于微机电系统（ MEMS ）技术的红外场景生成器。研究了可变光衰减器（ VOA ）阵列组成红外场景生成器的工作原理和器件结构，提出了新
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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航空兵器
【发表日期】
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2004年期
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