滚动压印装置研制与压印填充模拟

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ganxie123
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紫外滚动压印因其可以在室温下、普通大气环境中高效大面积地进行微结构制作而备受瞩目.利用自行研制的紫外滚动压印装置,实现了微结构的快速复制.实验中发现当压印速度达到某一特定值时,会不可避免地产生气泡缺陷.采用流体软件Fluent对滚动压印充填过程进行分析,来研究气泡缺陷的产生机理.结果表明,压印速度过高导致空气被堵在图形空腔内,最终形成气泡缺陷.同时,低黏度的胶液和小的接触角更利于模型填充.此研究对于获得优化的滚动压印工艺具有一定的意义.
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