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本文介绍了一个新兴的机械电子研究和应用领域－微型机电系统的产生、发展和应用前景，这种机电系统有着传统机电系统不能比拟的特点和优势，例如经济、制造快速等。本文列举了几个常见的微型机电系统和它们的应用举例。与微型机电系统密切相关的微细加工技术在本文中有详细的介绍，以硅加工和LIGA技术为例，本文比较了微细加工技术之间的特点和各自的应用范围，最后说明微型机电系统有广阔的发展前途。