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本文全面地总结了应用于表面形貌测量中的各种几何光探针方法，概述了这些方法的原理、特性及发展现状，并对各种方法的优越性及存在问题进行了比较。
几何光探针法在表面形貌测量中的应用
【摘 要】
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本文全面地总结了应用于表面形貌测量中的各种几何光探针方法，概述了这些方法的原理、特性及发展现状，并对各种方法的优越性及存在问题进行了比较。
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2001年1期
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