表面形貌测量相关论文
半导体加工技术是半导体产业发展的基础,其制造水平将直接影响半导体产品的关键性能参数,因此需要发展与当前加工精度相匹配的检测......
表面形貌是评价物体表面质量的重要因素,表面粗糙度是表现表面形貌的重要参数,表面粗糙度的检测广泛用于工业零部件的加工制造过程......
随着超精密加工技术的发展,越来越多的高集成度的微器件被制造出来。为了保证质量,需要对这些器件的阶高、线宽和表面形貌等特征尺......
针对三维表面形貌的非接触式光学测量是计算机多目立体视觉技术的一项重要应用,但目前还存在相机个数受限、特征点匹配算法复杂与......
基于条纹投射和正弦相位调制技术，提出了一种用于测量物体表面三维形貌信息的光纤干涉系统。通过杨氏双孔结构实现了条纹投射，并以余......
光刻技术在半导体产业微细化,高集成化进程中有着极其重要的作用,本项目的研究就是针对下一代短波光刻技术中必不可少的光刻胶薄膜......
该文对相移干涉显微镜进行微型机械零件表面形貌测量系统进行了实用化研究,论述了系统的测量原理,给出典型样品的实验结果及误差分......
白光干涉测量系统(white-light interference system,WLIS)广泛用于微纳米表面形貌的精密测量,其测量不确定度评定是研究白光干涉......
光学相干显微术(optical coherence microscopy,OCM)是一种新兴的成像技术,该技术结合了共焦显微术的高分辨率和低相干术有效抑制......
随着结合光、计算机、电子的高精密仪器细微化、自动化、功能广、一体化方向的不断更替,对现代化精密制造检测领域的质量要求越来......
飞秒激光作为本世纪最受关注的技术之一,为精密测量领域时空分辨力的提升提供了突破性的新方法和新技术。这主要体现在两个方面:（1）......
介绍了一种新型的基于聚焦探测法的自动焦点跟踪传感器,该传感器可实现表面形貌的快速、非接触测量,其测量范围为500 μm ,分辨率......
提出了一种基于双光路双波长相移干涉显微原理的新型 DOE三维表面形貌测量方法 ,并建立了相应的测量系统。理论分析和测量结果表明......
近十几年来 ,ＳＴＭ、ＳＰＭ作为钠米技术中的一个重要的研究工具 ,其应用得到了很大的发展 ,从表面形貌测量到各种物理特征量的检测与分析 ;由......
介绍了一种硅V型槽表面形貌测量的可视化方法,分析了谱域OCT的测量原理。利用谱域OCT实验测量系统进行了硅V型槽的成像实验,得到了......
产品名称:Ardic P300原子力显微镜产品简介:可应用于高解析影像和测量需求,特别是具备次纳米级的Z轴分辨率。其低噪声和开回路设计......
本文将 Talysurf 6型表面形貌测量系统应用于金属断口的几何量测量中.在该系统上采用针描法测量金属断口表面,得到代表断口表面轮......
讨论了表面粗糙度测量和表征中，一些人们感兴趣的有待解决的问题，如：基准、滤波、校准样块、评定软件和表征参数等．认为在3D表面分析中......
接触式台阶测量仪是ＬＳＩ生产工艺中的重要检测仪器，其中，触针是关键部件之一。本文叙述了触针对膜层台阶表面测量的影响，包括：触针的形状、......
结合超精密制造技术,讨论了轮廓仪测量大曲率半径表面形貌存在的精度缺陷。提出了利用NIKONAutocollimator 6D自准直仪辅助Form Ta......
表面粗糙度是摩擦学中描述物体表面特征的重要参数.现有的表面粗糙度测量技术在水平或垂直精度上经常有一定的局限性,而且费时,有......
二元光学器件是一种表面由微细结构组成的新型衍射光学元件,其表面结构的形状及偏差对使用性能有着严重的影响.随着研究的深入,应......
概述了微观测试技术的内涵及其发展趋势，分析了它的特点、作用、地位以及二十一世纪初十年代的要求，展望了该技术未来的发展趋势。
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本文结合国家自然科学基金重点资助项目“复杂机电产品质量特性多足度耦合理论与预防性控制技术”(50835008)和国家科技重大专项项......
该文就SPM的理论进行了深入的研究和分析,对SPM的基本结构以及每个环节进行了详细的总结,并从SPM的理论出发,在以前的激光力显微镜......
该文叙述了在线运动表面形貌测量技术在部分膜弹流润滑(PEHL)下的动态磨损研究的重要性,通过分析比较各种现有的接触和非接触测量......
本文提出用一种新型的无衍射光—无衍射结构光作为入射光进行物体表面形貌的三角测量。这种新型光束不仅具有传统无衍射光的特点,......
制件表面微观形貌直接影响其使用性能、寿命和可靠性,是制件的重要质量特征。随着制造技术的发展,制件表面加工精度不断提高,面向......
产品的小型化和精密化,使得人们对表面轮廓形貌测量的要求日益迫切。共聚焦显微技术有效地解决了高分辨率、非接触式测量的问题,能......
近十几年来,STM、SPM作为钠米技术中的一个重要的研究工具,其应用得到了很大的发展,从表面形貌测量到各种物理特征量的检测与分析;......
总结了基于光学内反射测角法的微小角度测量的基本原理、特性、发展现状以及其在精密测试中的应用。
The basic principle, chara......
触针表面形貌测量仪是生产科研中应用广泛的仪器,杠杆式触针由于其结构原因,在测量时会产生非线性误差,影响测量结果的精度。介绍......
分析研究现有表面形貌测量仪器的测量控制系统的优缺点,提出一种基于CPLD的高速、高可靠性、低成本的PCI总线测量控制系统实现方案......
简要介绍了原子力显微镜的工作原理,着重分析了液相探头的设计,并利用该探头进行了液相环境的样品表面形貌测量,给出了测量的图像.......
介绍了一种基于光驱聚焦探测技术的光触针式表面形貌测量系统。测量光束聚焦于被测表面上，当被测表面高度变化时，Z向精密位移工作台......
介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成.当测量工件时,闭环控......
A nano probe system which can measure precise micro parts or optical parts in nanometer range resolution and scratch con......
本文全面地总结了应用于表面形貌测量中的各种几何光探针方法，概述了这些方法的原理、特性及发展现状，并对各种方法的优越性及存在问......
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针对已有测量方法不能同时实现材料表面形貌的三维定量无损测量的不足,提出了一种基于调制电流式扫描离子电导显微镜（SICM）的表面形......
为了实现光刻胶表面形貌的广域、高精度测量，对新一代测量理论及测量方法进行了研究。首先分析了被测物件的特性，根据其柔软、透明的......
提出一种基于图形处理器(GPU)的快速傅里叶变换算法和并行处理算法,给出了傅里叶变换分析法的GPU并行实现流程,通过对各像素点进行......
表面形貌对组件的功能方面起着非常重要的作用。随着科学技术的发展和精密加工要求的提高,表面形貌测量技术也越来越为大家所重视,......
在多光刀准全场三维轮廓测量系统中 ,从受噪声影响的多光刀图像中准确提取出光刀中心是提高测量精度的关键。由于采用重心法进行光......
表面形貌的测量方法通常可分接触式和非接触式两种,这两种方法在许多方面具有互补性且各自有自己的应用领域,因此有必要将两种测量......
