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日本日产公司高技术部门最近开发出新型TM4000系列扫描电子显微镜，体积很小，可放在桌子上，用于教学上具有操作简便，在工业生产上可迅速检测各种参数。这是一种热电子枪型低真空扫描电子显微镜，操作简单，装有半导体型反射电子检测器及高灵敏度低真空二次电子检出器，由于可在低真空条件下操作.
TM4000系列台式扫描电子显微镜
【摘 要】
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日本日产公司高技术部门最近开发出新型TM4000系列扫描电子显微镜，体积很小，可放在桌子上，用于教学上具有操作简便，在工业生产上可迅速检测各种参数。这是一种热电子枪型低真空扫
【出 处】
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金属功能材料
【发表日期】
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2018年5期
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