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本文综述了真空微电子学近年来的发展及其应用.主要包括FEA、材料及在FED、微波器件和其它方面的应用.
真空微电子学的现状及其应用
【摘 要】
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本文综述了真空微电子学近年来的发展及其应用.主要包括FEA、材料及在FED、微波器件和其它方面的应用.
【机 构】
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信息产业部电子13所
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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2002年5期
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