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期刊论文
铜的表面改性热处理新方法初探
铜的表面改性热处理新方法初探
来源 :浙江大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mo114
【摘 要】
:
本文介绍了含硅氛下纯铜低温表面改性的高频感应加热设备,CVD装置以及相应的测温装置和手段。
【作 者】
:
沈复初
叶必光
【机 构】
:
浙江大学材料系
【出 处】
:
浙江大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1996年5期
【关键词】
:
表面改性
CVD
铜-硅化合物
铜
热处理
surface property improvement
CVD
Cu--Si intermetallic co
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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本文介绍了含硅氛下纯铜低温表面改性的高频感应加热设备,CVD装置以及相应的测温装置和手段。
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