CO2-CH4沉积气氛中金刚石膜晶粒尺寸的控制研究

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目的 在无氢气沉积环境中研究CO2与CH4的流量比对金刚石膜生长及晶粒尺寸的影响规律。方法采用MPCVD技术,通过调控CO2与CH4的流量比,可控性地制备得到不同结构特征的金刚石膜,通过SEM、XRD以及Raman光谱对金刚石膜进行表征分析,获得CO2与CH4的流量比对金刚石膜晶粒尺寸的影响规律。结果 在微波功率、沉积气压、基片温度和CH4流量分别为1.2 k W、7.0 k Pa、850℃和50 mL/min的沉积环境下,当CO2流量为20和25 mL/min时,可制备得到纳米金刚石膜;当CO2流量为3
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