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可控性生长相关论文
CO2-CH4沉积气氛中金刚石膜晶粒尺寸的控制研究
目的 在无氢气沉积环境中研究CO2与CH4的流量比对金刚石膜生长及晶粒尺寸的影响规律。方法采用MPCVD技术,通过调控CO2与CH4的流量......
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