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本文介绍扫描电子显微术(SEM)和扫描探针显微术(SPM)这两种最常用的微分析方法的新进展.简述了它们各自的构成、工作原理、应用功能及在研究工作中的互补性.
互补的微分析方法—扫描电子显微术和扫描探针显微术
【摘 要】
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本文介绍扫描电子显微术(SEM)和扫描探针显微术(SPM)这两种最常用的微分析方法的新进展.简述了它们各自的构成、工作原理、应用功能及在研究工作中的互补性.
【机 构】
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中国科技大学理化中心,中国科技大学理化中心,中国科技大学天文与应用物理系
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2002年4期
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