【摘 要】
：
当前MEMSCAD软件中可以支持的设计流程比较固定和单一，已不能完全满足由MEMS器件种类日益增多所带来的设计新需求．论文提出了一种可支持任意流程的MEMS设计方法，并基于此建立了
【机 构】
：
西北工业大学陕西省微／纳米系统重点实验室
【基金项目】
：
863项目资助(2005AA404240);国家自然科学基金资助(50505038)
论文部分内容阅读
当前MEMSCAD软件中可以支持的设计流程比较固定和单一，已不能完全满足由MEMS器件种类日益增多所带来的设计新需求．论文提出了一种可支持任意流程的MEMS设计方法，并基于此建立了设计工具原型系统．该方法采用通用的系统级、器件级和工艺级的三级架构，但以网表、标准格式的实体模型和版图文件分别作为这三个级别设计数据的出入口．设计了相应的信息提取算法及程序，实现了任意两个级别之间的数据自动传递，从而可以支持在该架构下的全部六种设计流程．尤其是由系统级到器件三维实体再到工艺版图的设计流程为国际上率先实现，其从功能
其他文献
大提琴作为交响乐队中最常见的乐器之一,具有非常强的音乐感染力。在大提琴演奏的过程中,不光需要扎实的基本功底和娴熟的演奏技术,更需要具备良好的音乐表现力。在艺术院校
提升"脚力、眼力、脑力、笔力",是习近平总书记对广大新闻工作者的殷切希望,也是新闻工作者提升本领能力的方法和路径。本文以中央广播电视总台央广驻会记者两会报道为例,从
随着城市的不断发展,人们对交通需求也随之提高,在科学技术迅速发展和更新条件下,城市轨道交通工程受到广泛关注,建设应用情况良好。在其建设期间,工程造价属于核心内容,只有
地铁车辆是地铁用来运输旅客的运输工具,它属于城市快速轨道交通的范畴。为了让地铁工作人员及对地铁感兴趣的人们了解地铁车辆走行部,现对大连地铁车辆走行部进行简要介绍。
目的:通过探析"一带一路"国际肿瘤专业人员联合培训中心构建的人才培养模式,提出对我国开展国际化肿瘤医学人才培养的启示与建议。方法:通过实例研究,总结"一带一路"国际肿瘤
路线设计在公路工程的设计中占据重要地位，是公路设计的基础，路线的合理性将直接关系到公路运行的经济性与可靠性。本文结合工程实例，探讨了低等公路改扩建工程中，对于公路路线的
事业单位人事档案管理是人力资源工作的一部分,主要涉及事业单位人员信息,新时期,随着信息科技的发展,对事业单位人事档案管理提出了新的要求。本文作者通过分析当前事业单位
花生四烯酸（AA）代谢产物是AA经脂质过氧化产生的一系列物质，参与多种生理及病理生理过程，也是多种疾病的生物标志物，准确的定性、定量分析在研究相关疾病的发生、发展机制，诊断和预
本文基于SPD船舶设计模型,对模型的轻量化方法和效果进行分析。提出了SPD模型轻量化的解决方案,旨在为异构CAD/CAM系统应用提供一种方便可行的轻量化途径。
随着我国公路施工建设向高质量、高水平的量化发展,桥梁工程占比不断增加。因此桥梁工程的施工质量将起决定性的作用影响整个道路工程质量。随着桥梁施工技术的飞速发展,节段