在不同烧结温度、30 MPa压力下保温1h制备了不同Yb₂O₃含量的氮化硅陶瓷,通过XRD、SEM、阿基米德排水法、三点抗弯强度法、Vickers压痕法等手段测定了氮化硅陶瓷的物相组成、显微结构、致密度、抗弯强度、断裂韧性和硬度。研究了烧结温度对不同Yb₂O₃含量的氮化硅陶瓷的相变、显微结构和力学性能的影响。研究表明,Yb₂O₃含量的变化导致了Yb₂O₃和氮化硅表面SiO₂反应配比的变化,从而在Yb₂O₃-SiO₂二元体系和Yb₂O₃-SiO₂-Si3_N4三元体系中,晶界第二相生成物也发生了变化。这些第二相生成物种类与烧结温度共同影响氮化硅陶瓷材料的显微结构和力学性能。5 wt%Yb₂O₃含量的Si₃N₄陶瓷在1850℃获得所有9个样品中最大的抗弯强度和断裂韧性,分别为874 MPa和5.83 MPa·m1/2;15 wt%Yb₂O₃含量Si₃N₄陶瓷中出现的第二相Yb₄Si₂O₇N₂,抑制了氮化硅晶粒在高温下的异常长大。