【摘 要】
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采用溶胶-凝胶(sol-gel)旋涂法在常规玻璃衬底上生长了In掺杂浓度分别为1 at％、2 at％、3 at％、4 at％、5 at％的ZnO薄膜.借助X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光
【机 构】
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辽宁师范大学物理与电子技术学院,辽宁大连116029
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采用溶胶-凝胶(sol-gel)旋涂法在常规玻璃衬底上生长了In掺杂浓度分别为1 at％、2 at％、3 at％、4 at％、5 at％的ZnO薄膜.借助X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)对样品的晶粒生长、结构以及光学性能进行表征.结果 如下:所制备的薄膜均沿(002)方向择优生长,且随着In3+掺杂浓度增加,衍射峰的峰型及半高宽均呈先降低后升高的趋势;In3+掺入后,ZnO薄膜晶粒由原来的六边形状发展成类似蠕虫状,同时粒径变小且大小不一;与本征样品相比,掺杂后的ZnO光透过率提高了10％,且吸收边向短波长方向偏移,同时随着In3+的掺入,薄膜的光学带隙值从3.49 eV增加到3.80 eV.当In3+掺杂浓度为4 at％时,薄膜(002)峰的峰形最为尖锐、峰值最大,晶粒较为均匀、晶格间距更小,光透过率最高,光学带隙值相对较大为3.77 eV.
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