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三氟化硼作为一种常用的气体在半导体工业中发挥着重要的作用.高纯度的三氟化硼(>4N,>99.99％)可用于高新技术行业因而具有高的附加值、重要的研究意义和工业价值.对三氟化硼工艺包括冷阱法、吸附法、化学转化法及精馏法等进行了总结.
三氟化硼纯化工艺综述
【摘 要】
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三氟化硼作为一种常用的气体在半导体工业中发挥着重要的作用.高纯度的三氟化硼(>4N,>99.99％)可用于高新技术行业因而具有高的附加值、重要的研究意义和工业价值.对三氟化硼工艺包括冷阱法、吸附法、化学转化法及精馏法等进行了总结.
【机 构】
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中昊光明化工研究设计院有限公司,辽宁 大连116031
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2021年6期
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