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按照GB/T 1551-2009《硅单晶电阻率测定方法》,用四探针法测量硅单晶的电阻率,分析了测试过程中的不确定度来源并量化各分量,计算出了该方法的合成标准不确定度和扩展不确定度.
硅单晶电阻率四探针法测量不确定度评定
【摘 要】
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按照GB/T 1551-2009《硅单晶电阻率测定方法》,用四探针法测量硅单晶的电阻率,分析了测试过程中的不确定度来源并量化各分量,计算出了该方法的合成标准不确定度和扩展不确定
【机 构】
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浙江省电子信息产品检验所,浙江省硅材料质量检验中心
【出 处】
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中国计量大学学报
【发表日期】
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2016年03期
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