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期刊论文
等离子显示屏制作中的曝光技术
等离子显示屏制作中的曝光技术
来源 :显示器件技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:haohaohaobaichi
【摘 要】
:
随着等离子显示屏制作技术的逐渐成熟,光刻技术在等离子显示屏的制作中也越来越重要了。本文论述了在等离子显示屏制作中影响曝光质量的相关因素,从曝光的主要影响因素进行分析
【作 者】
:
田玉民
罗向辉
【机 构】
:
四川世纪双虹显示器件有限公司,北京PDP研发中心
【出 处】
:
显示器件技术
【发表日期】
:
2008年1期
【关键词】
:
曝光量
间隙
照度
母版
等离子显示屏(PDP)
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随着等离子显示屏制作技术的逐渐成熟,光刻技术在等离子显示屏的制作中也越来越重要了。本文论述了在等离子显示屏制作中影响曝光质量的相关因素,从曝光的主要影响因素进行分析阐述,并结合实例进行了分析论证。
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