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本文介绍了用干涉显微镜对表面粗糙度检测时干涉条纹的计算机处理过程,其中采用灰度阈值分割法进行干涉图像二值化处理,采用边界描迹法萃取干涉条纹边界线.可对高度偏差≤λ/2的表面粗糙度进行测量.
干涉显微镜测量表面粗糙度条纹的自动处理
【摘 要】
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本文介绍了用干涉显微镜对表面粗糙度检测时干涉条纹的计算机处理过程,其中采用灰度阈值分割法进行干涉图像二值化处理,采用边界描迹法萃取干涉条纹边界线.可对高度偏差≤λ/
【机 构】
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长城计量测试技术研究所,长城计量测试技术研究所 北京100095,北京100095
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1993年11期
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