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主要对新近由ＰＶＤ或ＣＶＤ法形成的几种功能薄膜的技术特性和应用情况作出概况，从而是展示了功能薄膜的发展动态。
由PVD或CVD法形成的功能薄膜
【摘 要】
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主要对新近由ＰＶＤ或ＣＶＤ法形成的几种功能薄膜的技术特性和应用情况作出概况，从而是展示了功能薄膜的发展动态。
【机 构】
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宁波高等专科学院
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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1997年3期
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