穿孔顶头表面氧化膜制取方法

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介绍了国内外穿孔顶头表面氧化膜制取方法,比较了各种方法的综合工艺效果。综合工艺效果比较表明,可控气氛和电离氧化法是获取致密氧化膜的最佳方法。
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