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本文报道了一种制备大面积超导薄膜的激光扫描淀积方法。这种方法是通过一光学变换传输系统使激光束能绕一定的半径旋转,旋转的激光束去扫描消融超导靶材来淀积大面积超导薄膜。实验表明用这种激光扫描淀积方法可使超导薄膜的均匀区域扩大10倍左右。
一种制备大面积超导薄膜的激光扫描淀积方法
【摘 要】
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本文报道了一种制备大面积超导薄膜的激光扫描淀积方法。这种方法是通过一光学变换传输系统使激光束能绕一定的半径旋转,旋转的激光束去扫描消融超导靶材来淀积大面积超导薄膜。实验表明用这种激光扫描淀积方法可使超导薄膜的均匀区域扩大10倍左右。
【机 构】
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华中理工大学激光技术国家重点实验室,武汉430074
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1993年20期
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