【摘 要】
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利用射频磁控溅射设备在玻璃基片上制备TiO2薄膜,采用AFM、UV-Vis分光光度、接触角测定仪等测试手段,研究基片温度对薄膜表面形貌、粗糙度和表面性能的影响。结果表明,随着基
【机 构】
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中国建筑材料科学研究院特种玻璃纤维与光电功能材料研究所,大连轻工业学院材料科学与工程系,大连理工大学三束材料改性国家重点实验室及物理系
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利用射频磁控溅射设备在玻璃基片上制备TiO2薄膜,采用AFM、UV-Vis分光光度、接触角测定仪等测试手段,研究基片温度对薄膜表面形貌、粗糙度和表面性能的影响。结果表明,随着基片温度增加,薄膜表面粗糙度增大,薄膜中颗粒由无定形态逐渐向定向排列的晶态转变,而薄膜结构、表面形貌和粗糙度的变化明显影响薄膜表面性能。最后,探讨了薄膜的生长机理。
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