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实验研究发现,采用离子束辅助沉积技术能改进膜层的性能,消除或减小膜层的应力.由实验得到:为保证锗膜具有较好的光学性能和机械性能,基底温度须加热至约150℃;对锗膜比较适合的离子束能量约为150eV;束流密度约为50μA/cm~2.
锗膜沉积工艺的实验研究
【摘 要】
：
实验研究发现,采用离子束辅助沉积技术能改进膜层的性能,消除或减小膜层的应力.由实验得到:为保证锗膜具有较好的光学性能和机械性能,基底温度须加热至约150℃;对锗膜比较适
【机 构】
：
中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所上海,上海
【出 处】
：
红外研究
【发表日期】
：
1989年5期
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