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采用一维Mason模型,研究体声波谐振器的频率特性,探讨压电薄膜AlN和上电极膜厚对谐振频率的影响,研究谐振区域的面积和声能在衬底中的损耗对品质因数的影响.
用一维Mason模型模拟薄膜体声波谐振器研究
【摘 要】
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采用一维Mason模型,研究体声波谐振器的频率特性,探讨压电薄膜AlN和上电极膜厚对谐振频率的影响,研究谐振区域的面积和声能在衬底中的损耗对品质因数的影响.
【机 构】
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咸宁学院
【出 处】
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咸宁学院学报
【发表日期】
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2006年6期
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