【摘 要】
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为提高晶圆制造整体式自动化物料搬运系统和晶圆加工系统的综合性能,提出了一种基于模糊逻辑控制的动态调度方法。该方法实时采集系统中的晶圆卡交货期、晶圆卡等待时间和AMH
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(U1704156);河南省高等学校青年骨干教师资助计划项目(2015GGJS-036)
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为提高晶圆制造整体式自动化物料搬运系统和晶圆加工系统的综合性能,提出了一种基于模糊逻辑控制的动态调度方法。该方法实时采集系统中的晶圆卡交货期、晶圆卡等待时间和AMHS搬运负载情况等信息,通过模糊逻辑控制模型动态调整系统当前调度规则,从而实现OHT实时高效搬运晶圆。仿真实验表明:基于模糊逻辑控制的动态调度方法在OHT平均利用率、晶圆平均搬运时间、晶圆平均等待时间和晶圆平均交货期满意度等性能指标方面优于传统单一规则,验证了该方法的有效性。
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