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申请（专利）号：201380052051．2公开（公告）日：2015—07-08申请（专利权）人：大阳日酸株式会社摘要：一种硒化氢混合气体的供给方法及供给装置，使同一流量的校正用气体流过设置于原料气体供给流路以控制作为原料气体的硒化氢气体的流量的流量控制单元和校正用的流量控制单元，并根据由流量控制单元和流量测量单元分别测量出的校正用气体的流量值的差异，修正流量控制单元流出的硒化氢气体的流量的设定值。