【摘 要】
：
本文研究了国产中规模集成电路铝金属化系统电迁移失效机理以及磷硅玻璃(PSG)和聚酰亚胺钝化层对铝条失效行为的影响,并对铝条的形貌进行了扫描电镜观察和分析。实验测得铝条
【机 构】
：
北京材料工艺研究所,北京材料工艺研究所,北京材料工艺研究所
论文部分内容阅读
本文研究了国产中规模集成电路铝金属化系统电迁移失效机理以及磷硅玻璃(PSG)和聚酰亚胺钝化层对铝条失效行为的影响,并对铝条的形貌进行了扫描电镜观察和分析。实验测得铝条电迁移失效激活能为0.48eV。
In this paper, the mechanism of electromigration failure of aluminum-metallization system in domestic medium-scale integrated circuits and the effect of PSG and polyimide passivation layers on the failure behavior of aluminum strips were investigated. The morphology of aluminum strips was characterized by scanning electron microscopy Observation and analysis. Experimentally measured aluminum electrocatalytic failure activation energy of 0.48eV.
其他文献
本文通过拉伸试验研究了 GCr15轴承钢经双细化处理后的超塑效应;在温度 T=700℃,应变速率■=1×10~(-2)min~(-1)条件下,其延伸率δ=630%,流动应力σ=4kg/mm~2,应变速率敏感性
文中提出了制造增压器涡轮壳用的中硅钼球铁的化学成分为(%):3．2~3．4C,3．5~4.0Si,0．4~0．7Mo。还介绍了造型、熔炼、球化、处理、浇注和热处理等工艺要点。
In this paper, the ch
曩者。由斐拉德斐亚。赴华盛顿之火车中途遇遇阻。止於保勒德摩一英里之北。乘客之中。总统威尔逊与焉。时适有某项国际交涉发生。威氏与诸大臣期会白宫。行尽赴约也。从威氏
本文使用了一台高时间分辨率的红外热象仪和一台孔径为20毫米的快速红外探测器,监测高速旋转弯曲疲劳样品的表面温度分布.确定了红外发射与局部疲劳损伤的关系,提出了一种新
现代教育手段是高校体育课教学的一个新领域,也是我国体育教学改革的一项重大课题,其得到广大师生的普遍关注。本文从教育信息化,远程教育手段以及优化高校体育课程建设三方
电化学镀铝是在乙醚-氢化物的电解液中进行,采用非对称的交流电其阴极电流密度与阳极电流密度之比不大于0.9,阳极的电流密度为7～50毫安/厘米~2,同一溶液再作阳极处理,这样就
诗歌中的遮盖手法,概括地说,就是诗人在创作时把要说的意思不直接说出,而采用象征、托物、写景、比拟、反说等手法间接地表现出来,让读者驰骋想象,从字面上找出弦外之音、言
关于控制钢中先共析铁素体的形成理论目前已有各种模型,但还未见到有直接观察的结果。日本钢管公司的稻垣裕辅用透射电子显微镜,在高倍放大下研究了先共析铁素体形成初期的
通过文南研究和逻辑推理,认为体育是实施素质教育的重要组成部分。体育在素质教育中应发挥的作用表现为:促进学生生理素质的发展;提升学生的道德人格,完善学生的心理素质;改
我在协调计划的艰难道路上勉强对付了三年,有些事上得退让,有些事上要说服消防队、卫生员、卫生技术员、绿化工作者、地下工程工人和电工,要把用砖许可证以及搬迁车库和折掉