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提出了应用扫描隧道显微及利用物质原子结构测量纳米级变形的新方法，对高定向裂解石墨，单晶硅材料的纳米级变形进行了测量研究，得到了强激光辐照石墨的残余应变场，对拨原子后单晶硅形成的纳米裂纹附近区域的残余变形进行了分析。
纳米级变形的扫描隧道显微镜测量研究
【摘 要】
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提出了应用扫描隧道显微及利用物质原子结构测量纳米级变形的新方法，对高定向裂解石墨，单晶硅材料的纳米级变形进行了测量研究，得到了强激光辐照石墨的残余应变场，对拨原子后单晶
【机 构】
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清华大学工程力学系,中国科学院真空物理实验室
【出 处】
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力学学报
【发表日期】
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1997年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金,中国科学院基金
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