【摘 要】
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报道了一种新型纳米多孔氧化硅薄膜的制备方法,并详细探讨了表面活性剂浓度对介孔氧化硅薄膜结构和性能的影响.以十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)为模板剂,正硅酸乙酯为硅源,盐酸
【基金项目】
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国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)
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报道了一种新型纳米多孔氧化硅薄膜的制备方法,并详细探讨了表面活性剂浓度对介孔氧化硅薄膜结构和性能的影响.以十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)为模板剂,正硅酸乙酯为硅源,盐酸为催化剂, 采用溶胶-凝胶技术,通过提拉法制备了二氧化硅透明介孔薄膜.用红外光谱、小角XRD、原子力显微镜对样品进行了表征,并采用椭偏仪和阻抗分析仪测量薄膜的折射率和介电常数.该薄膜具有很低的介电常数和较好的机械强度,是一种可用于微电子工业的极富应用前景的低介电常数材料.
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