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气态ＴｉＣｌ４与ＮＨ３反应，在２００℃时生成ＴｉＣｌ５５ＮＨ３；２５０－４００℃时生成ＴｉＣｌ．５ＮＨ３，ＴｉＣｌＮ和ＮＨ４Ｃｌ；４００℃时生成ＴｉＮｘ，ＮＨ４Ｃｌ和ＨＣｌ。在形成的ＴｉＮｘ原子比ＸＤ ７００℃时为１．２１，８００℃时为１．１６，９００℃时为１．１３，１０００℃以上时为１．１０。