基片集成波导式高温压力传感器的制备与测试

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tsl9906202

【摘要】

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【作者】

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郭彦杰谭秋林张磊逯斐郭晓威

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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基片集成圆波导(SICW) 高温共烧陶瓷(HTCC) 无线无源高温压力传感器共面波导天线

【基金项目】

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国家自然科学基金资助项目(61471324);山西省青年拔尖人才支持计划项目

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