用CMOS工艺方法制作的低成本非致冷红外探测器(下)

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二极管型探测器的直流响应率由下式给出:rnR=η/Gth(-dVD/dT-IbiasRconnectαconnect/2)(8)式中,η为吸收系数,Gth为热导率,dVD/dT为二极管正向电压的温度系数,Ibias为直流偏置电流,Rconnect和αconnect分别为互连电阻和互连电阻的温度系数值.与电阻型探测器的情况相似,括号中的项表示探测器电压的有效温度系数,最后一项的分母中有一个倍数2以便把沿支撑臂上互连电阻的温度梯度效应也考虑进去.
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