【摘 要】
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高精度、高效率一直是机械工业(特别是机床工业)发展的主要动向。计量测试既是达到高质量、高精度的保证,又是实现高效率、自动化之必需。 科学技术的发展对机床工业提出了超
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高精度、高效率一直是机械工业(特别是机床工业)发展的主要动向。计量测试既是达到高质量、高精度的保证,又是实现高效率、自动化之必需。 科学技术的发展对机床工业提出了超高精度加工的要求。大规模集成电路的图案尺寸已达亚微米级[1]美国劳伦斯利物莫尔实验室对他们的 X射线
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