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基于省级专精特新、省级专精特新“小巨人”、国家级专精特新“小巨人”、制造业单项冠军的梯队发展模式，探究硬科技创新、行业科技自立自强与专精特新企业跨量级发展的关系。研究发现，硬科技创新水平越高，专精特新企业跨量级发展的能力越强，即从省级专精特新跃升到国家级专精特新“小巨人”，甚至跃升至制造业单项冠军。当行业层面的科技自立自强的程度愈高时，行业同侪效应促使专精特新企业硬科技创新的成效增大，能够更好地实现跨量级发展。硬科技创新对专精特新企业跨量级发展的正向影响在科技交流较为活跃，科技人员薪酬待遇较好，数字化水平较高的公司中更加凸显。动态能力和成长机会是硬科技创新影响专精特新企业跨量级发展的潜在路径。