Effect of Cold Deformation and Annealing on Microstructure of Al-Ti Alloy Target for Sputter Deposit

来源 :稀有金属(英文版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:shengli46
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The microstructure of the Al-Ti alloy was studied.It was found that Al-xTi(x<5.0wt%) alloy consists of two phases,the solid solution of titanium in aluminum and the intermetallic compound Al3Ti.The alloy was deformed by rolling and heat-treated.The results show that the second-phase precipitates are broken and refined in the matrix by large amount of cold work and crystalline grains are refined by annealing after the cold work.Deformation and heat-treatment can improve the distribution of second phase of precipitates in the matrix to certain extent.
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