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为了提高准分子激光打孔质量，分析了影响现行加工系统打孔质量的因素，在此基础上提出利用钻孔法改进打孔效果的解决方案。根据此方案设计了加工光路，进行了微孔加工实验。实验结果表明，采用248nm准分子激光加工有机材料聚甲基丙烯酸甲酯，微孔形状规则，孔径锥度可减小至0．055。该加工系统和方法提高了微孔加工的速度和质量，在微加工领域具有很好的实际应用价值。