论文部分内容阅读
给出了一种利用柔性一微环光波导耦合结构的集成光学加速度传感器，通过聚合物材料设计的柔性光波导，在外力作用下产生形变，该形变改变了柔性光波导与微环光波导的层间距，从而改变波导耦合器的耦合比，使得微环光波导谐振腔输出谱特性发生相应改变，继而有效地实现了加速度的传感。本文给出了这种新型的设计，推导了其检测原理并同时分析了其灵敏度的影响因素。