非球面零检验的反射式Offner补偿器设计

来源 :应用光学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhushuangwu1999
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根据三级像差理论,推导反射式Offner补偿器在检验光路中的初始结构参数计算公式,讨论计算机最佳化设计方法,并给出设计实例。
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