【摘 要】
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本文设计了一种基于活塞间隙的微小流导结构,流导数值可调,采用实验的方法研究了微小流导的压力特性、温度特性及调节重复性。讨论了该流导在微小气体流量计量的应用情况及前
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本文设计了一种基于活塞间隙的微小流导结构,流导数值可调,采用实验的方法研究了微小流导的压力特性、温度特性及调节重复性。讨论了该流导在微小气体流量计量的应用情况及前景。
In this paper, a small flow guide structure based on the piston clearance was designed. The numerical values of flow conductance were adjustable. The pressure characteristics, temperature characteristics and repeatability of the small flow conductors were studied experimentally. The application and prospects of this flow guide in the measurement of micro gas flow are discussed.
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