【摘 要】
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采用等离子增强化学气相法(PECVD)在碲镉汞(MCT)衬底上沉积纳米颗粒的类金刚石薄膜(DLC),对DLC/MCT界面进行了俄歇电子能谱(AES)分析,并与离子溅射法(IS)沉积的ZnS/MCT界面比
【机 构】
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上海大学材料科学与工程学院,上海大学材料科学与工程学院,中国科学院上海技术物理研究所
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采用等离子增强化学气相法(PECVD)在碲镉汞(MCT)衬底上沉积纳米颗粒的类金刚石薄膜(DLC),对DLC/MCT界面进行了俄歇电子能谱(AES)分析,并与离子溅射法(IS)沉积的ZnS/MCT界面比较,结果表明DLC和ZnS薄膜都能较好地抑制MCT中HgTe的分解,在一定程度上阻挡了MCT中Hg的外扩散.相对于ZnS中的S而言,DLC的C在MCT中的内扩散深度较小(前者为400,而后者仅为200).红外透射光谱结果表明DLC膜比ZnS膜具有更好的抗反射效果.
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