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阐述了利用键合方法转移薄膜材料的技术及其应用。最人竞争力的转移固体薄膜技术主要有键合加选择性腐蚀工艺和注氢智能剥离工艺，这种技术解决了外延生长难以解决的晶格失配问题，为改善器件结构及性能提供了巨大的潜力。
利用键合方法转移薄膜材料
【摘 要】
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阐述了利用键合方法转移薄膜材料的技术及其应用。最人竞争力的转移固体薄膜技术主要有键合加选择性腐蚀工艺和注氢智能剥离工艺，这种技术解决了外延生长难以解决的晶格失配问
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室,中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2000年6期
【基金项目】
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国家自然科学重大基金资助项目! (6 2 896 2 6 0 ),,科技部973项目! (G2 0 0 0 0 36 6 )
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