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采用磁控溅射方法制备W—S—C复合薄膜，研究沉积气压对薄膜结构和摩擦学性能的影响。结果表明，复合膜以非晶或纳米晶结构生长，沉积气压低时薄膜中C含量高，薄膜结构致密；沉积气压高时薄膜中WS；含量高，薄膜致密性下降。复合膜硬度在HV420～500之间，并且随着沉积气压的增加，硬度逐渐下降。在潮湿大气中的摩擦磨损实验表明，实验载荷越大摩擦因数越小；随着沉积气压的增加，复合膜的摩擦因数先降低后增加；当沉积气压在0．45～0．55Pa时，复合膜的摩擦因数最低约为0．1，耐磨性能最好。