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２０００年微细加工设备发展预测与对策（续）电子部第四十五研究所（甘肃平凉７４４０００）童志义美国国防部高级研究计划局于１９９２年１０月与Ｓａｎｄｅｒｓ和Ｈａｍｐｓｈｉｒｅ两家公司签订了６５０万美元的国防高级光刻技术的合同，由Ｓａｎｄｅｒｓ公司使用Ｈａ...
2000年微细加工设备发展预测与对策（续）
【摘 要】
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２０００年微细加工设备发展预测与对策（续）电子部第四十五研究所（甘肃平凉７４４０００）童志义美国国防部高级研究计划局于１９９２年１０月与Ｓａｎｄｅｒｓ和Ｈａｍｐｓｈｉｒｅ两家公司签订了６５０万美元的国防高级光刻技术的合同，由Ｓａｎｄｅｒｓ公司使用Ｈａ...
【机 构】
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电子部第四十五研究所
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
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1994年6期
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