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采用传统固相反应法制备PZT压电陶瓷材料，并制作成平行平板无源电容器结构。在ELV-8电子直线加速器上对其进行总剂量辐照效应实验，对辐照前后PZT材料的介电和压电性能参数进行了测试和比较。实验结果表明，PZT材料平行平板电容器的压电性能抗总剂量水平可达2×10^8rad（Si），领先国际水平。
PZT压电陶瓷的总剂量辐照效应实验研究
【摘 要】
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采用传统固相反应法制备PZT压电陶瓷材料，并制作成平行平板无源电容器结构。在ELV-8电子直线加速器上对其进行总剂量辐照效应实验，对辐照前后PZT材料的介电和压电性能参数进行
【机 构】
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西安电子科技大学微电子研究所,西北工业大学材料科学与工程学院
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2008年5期
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