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利用CCD成象技术研制了一种小光束质量的实时检测系统,从理论和实验上进行了分析研究。首次完成了对半导体激光束的波差测量、这种技术是现代高科技、高精度光学检测中的一种有效方法。
激光束波面质量的实时检测与数据处理技术
【摘 要】
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利用CCD成象技术研制了一种小光束质量的实时检测系统,从理论和实验上进行了分析研究。首次完成了对半导体激光束的波差测量、这种技术是现代高科技、高精度光学检测中的一种
【机 构】
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华中理工大学光电子工程系,华中理工大学光电子工程系武汉,464000,武汉,464000
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1993年4期
【基金项目】
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国家“七·五”科技攻关项目
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